Программа профессионального модуля «физико-технологические особенности плазменного травления кремния для создания наноразмерных структур»
|
Скачать 1.23 Mb.
|
 Приложение 6Министерство образования и науки Российской Федерации НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ «МИЭТ» «УТВЕРЖДАЮ» Ректор МИЭТ чл.-корр. РАН ____________________ Ю.А. Чаплыгин «_____» _____________________ 2011 г. ПРОГРАММа ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ «ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР» 2011 г. Рабочая программа профессионального модуля утверждена на заседании учебно-методического совета образовательных программ опережающей профессиональной подготовки (уровень - магистратура) и переподготовки в области проектирования и производства СБИС с топологическими нормами 90 нм, протокол от 16 ноября 2011 г. № 2. Организация-разработчик: Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Авторы: Голишников А.А., к.т.н., доцент СОДЕРЖАНИЕ1. ПАСПОРТ ПРОГРАММЫ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ 4 2. результаты освоения ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ 6 3. СТРУКТУРА и содержание профессионального модуля 7 4. условия реализации программы ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ 10 5. Контроль и оценка результатов освоения профессионального модуля (вида профессиональной деятельности) 12 1. паспорт ПРОГРАММЫ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ «ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР» 1.1. Область применения программы Программа профессионального модуля является частью профессиональной образовательной программы переподготовки специалистов по профессии 210100 "Электроника и наноэлектроника" в части освоения вида профессиональной деятельности: проектно-технологическая деятельность и соответствующих профессиональных компетенций (ПК): ПК-1. Способность использовать результаты освоения фундаментальных и прикладных дисциплин ООП магистратуры. ПК-2. Способностью демонстрировать навыки работы в научном коллективе, порождать новые идеи (креативность). ПК-3. Способность понимать основные проблемы в своей предметной области, выбирать методы и средства их решения. ПК-6. Готовностью оформлять, представлять и докладывать результаты выполненной работы. ПК-7. Способность анализировать состояние научно-технической проблемы путем подбора, изучения и анализа литературных и патентных источников. ПК-20. Способностью делать научно-обоснованные выводы по результатам теоретических и экспериментальных исследований, давать рекомендации по усовершенствованию устройств и систем, готовить научные публикации и заявки на изобретения. БКТ-2. Знание физических и химических принципов, лежащих в основе базовых технологических операций создания СБИС с топологическими нормами до 90 нм и базовых технологических маршрутов. БКТ-3. Знание основ современных методов и технологий создания и исследования наноструктур интегральной электроники. БКТ-4. Владение базовыми знаниями в области материалов и методов объемной и поверхностной обработки функциональных слоев интегральной наноэлектроники. СКТ-4. Знание принципов разработки технологических маршрутов и процессов изготовления СБИС по технологическим нормам 90 нм. СКТ-6. Умение применять современные экспериментальные методы анализа физических и химических свойств наноструктур и наноматериалов, исследования параметров и характеристик формируемых приборов и устройств. 1.2. Цели и задачи модуля - требования к результатам освоения модуля С целью овладения указанным видом профессиональной деятельности и соответствующими профессиональными компетенциями обучающийся в ходе освоения профессионального модуля должен: иметь практический опыт: Владеть: - базовыми знаниями в области материалов и методов объемной и поверхностной плазменной обработки функциональных слоев интегральной наноэлектроники; - методологией разработки технологических маршрутов и процессов плазменного травления при изготовлении СБИС. Уметь: - применять современные экспериментальные методы анализа физических и химических свойств наноструктур и наноматериалов, исследования параметров и характеристик формируемых структур, приборов и устройств; - разрабатывать конструкторско-технологическую документацию на процессы плазменного травления и маршруты изготовления СБИС в части плазменного формирования структур. Знать: - физические и химические принципы, лежащие в основе технологических процессов плазменного травления при создании СБИС с УТ 90 нм и базовых технологических маршрутов; - современные методы и технологии плазменного травления функциональных слоев СБИС, используемых в производстве с топологическими нормами 90 нм; - основные принципы построения, функционирования технологического и аналитического оборудования, используемого при плазменном травлении и исследовании сформированных структур по топологическим нормам 90 нм; - принципы разработки кратких технологических маршрутов и процессов плазменного травления при изготовлении СБИС по топологическим нормам 90 нм. 1.3. Рекомендуемое количество часов на освоение программы профессионального модуля: всего - 70 часов, в том числе: максимальной учебной нагрузки обучающегося - 70 часов, включая: обязательной аудиторной учебной нагрузки обучающегося - 34 часа; |
Похожие:
 |
Программа учебной дисциплины «Технологические маршруты синтеза методом... Программа предназначена для специалистов в области производства полупроводниковых наногетероструктур предприятий, специализирующих... |
 |
Программа профессионального модуля «особенности логического синтеза... Контроль и оценка результатов освоения профессионального модуля (вида профессиональной деятельности) 12 |
|
Программа профессионального модуля «особенности многоуровневой металлизации... Амма профессионального модуля утверждена на заседании учебно-методического совета образовательных программ опережающей профессиональной... |
|
Программа профессионального модуля Машинист холодильных установок, входящей в укрупненную группу профессий 150000 Металлургия, машиностроение и металлообработка по... |
|
Программа профессионального модуля пм. 3 Ремонт и обслуживание пожарной... Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальностям... |
|
Программа профессионального модуля пм. 01 Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальностям... |
|
Программа профессионального модуля «методы приборно-технологического... Программа профессионального модуля является частью профессиональной образовательной программы переподготовки специалистов по |
|
Рабочая программа профессионального модуля пм. 01 «Реализация лекарственных... Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальности... |
|
Рабочая программа профессионального модуля пм. 03 Работа на контрольно-кассовой... Рабочая программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта среднего... |
|
Программа профессионального модуля Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по профессии среднего... |
|
Программа профессионального модуля Пм. 01. Изготовление шаблонов... Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта среднего профессионального... |
|
Рабочая программа профессионального модуля пм. 02 «Изготовление лекарственных... Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальностям... |
|
Программа профессионального модуля Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта и примерной рабочей... |
|
Программа профессионального модуля пм 05. 01 Обслуживание источников... Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по профессии начального... |
|
Рабочая программа профессионального модуля 03 Рабочая программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальности... |
|
Программа профессионального модуля Программа профессионального модуля разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта (далее – фгос)... |